ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD. Karst [Internet]. 2018 Dec. 31 [cited 2025 Nov. 3];1(1):13-8. Available from: https://ejournals.umma.ac.id/index.php/karts/article/view/96