“ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD”. Karst: Jurnal Pendidikan Fisika dan Terapannya 1, no. 1 (December 31, 2018): 13–18. Accessed November 3, 2025. https://ejournals.umma.ac.id/index.php/karts/article/view/96.