ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD. Karst: Jurnal Pendidikan Fisika dan Terapannya, [S. l.], v. 1, n. 1, p. 13–18, 2018. DOI: 10.46918/karst.v1i1.96. Disponível em: https://ejournals.umma.ac.id/index.php/karts/article/view/96. Acesso em: 3 nov. 2025.