“ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD”. Karst: Jurnal Pendidikan Fisika Dan Terapannya, vol. 1, no. 1, Dec. 2018, pp. 13-18, https://doi.org/10.46918/karst.v1i1.96.