“ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD”, Karst, vol. 1, no. 1, pp. 13–18, Dec. 2018, doi: 10.46918/karst.v1i1.96.