“ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD” (2018) Karst: Jurnal Pendidikan Fisika dan Terapannya, 1(1), pp. 13–18. doi:10.46918/karst.v1i1.96.