“ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD”. 2018. Karst: Jurnal Pendidikan Fisika Dan Terapannya 1 (1): 13-18. https://doi.org/10.46918/karst.v1i1.96.