ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD. (2018). Karst: Jurnal Pendidikan Fisika Dan Terapannya, 1(1), 13-18. https://doi.org/10.46918/karst.v1i1.96