2018. ANALISIS PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK VHF-PECVD. Karst: Jurnal Pendidikan Fisika dan Terapannya. 1, 1 (Dec. 2018), 13–18. DOI:https://doi.org/10.46918/karst.v1i1.96.